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进入九十年代,国际上MEMS技术有了长足的发展,硅片定向微机电加工精度和成品率不断提高,加上离子注入技术的发展使扩散硅压力传感器从技术上有了可靠保证,成本也有所下降。在许多应用领域里,扩散硅压力传感器还必须与充油蕊体配套,这又使它的售价大幅度上升。这些原因无疑在一定程度上促进了国内压力传感器市场的兴盛。
近几年,由昆山市人民政府和中科院,在昆山双桥成立了国家火炬计划昆山传感器产业基地,使拥有自主知识产权的微纳米MEMS技术硅压阻式传感器和变送器形成了产业链。合肥智能化所在陶瓷压力传感器方面在研发和制造技术方面也有了可喜的发展。这些进展都在一步步推进着国内市场的发展。
在国外,压阻式陶瓷压力传感器以其高可靠性,抗腐蚀、优良的线性精度和低成本开始逐渐替代扩散硅压力传感器,这也将是必然的发展趋势。国家科技部马颂德副部长在2005年底视察无锡时,对此作了充分肯定。
我国从事各种压力变送器生产的厂家有1700多家,作为压力变送器的核心部件-压力传感器实现国产化的时代巳经到来!
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